项目 | 描述 |
| 图像分辨率 | w/o球差校正仪 | 保证 0.204nm（当放大倍数为4,000,000时） |
| w球差校正仪 | 保证 0.144 nm（当放大倍数为7,000,000时）（标准镜头） |
保证 0.136nm（HAADF图像）
保证0.105 nm（通过FFT）（当放大倍数为7,000,000时）（高分辨率镜头（*）） |
| 放大倍数 | 100倍 至 10,000,000倍 |
| 加速电压 | 200 kV, 120 kV （*） |
| 成像信号 | 明场扫描透射电子显微镜：相衬图像（TE图像）
暗场扫描透射电子显微镜：原子序数衬度图像（Z衬度图像）
二次电子图像（SE图像）
电子衍射（*）
特征X射线分析和面分布（能谱分析）（*）
电子能量损失谱分析和面分布（EV3000）（*） |
| 电子光学系统 | 电子源 | 肖特基发射电子源 |
| 冷场致发射器（*） |
| 照明透镜系统 | 2-段聚光镜镜头 |
| 球差校正仪（*） | 六极镜头设计 |
| 扫描线圈 | 2-段式电磁感应线圈 |
| 原子序数衬度收集角控制 | 投影镜设计 |
| 电磁图像位移 | ±1 μm |
| 试片镜台 | 样品移动 | X/Y轴 = ±1 mm, Z轴 = ±0.4 mm |
| 样品倾斜 | 单轴-倾斜样品杆：±30°（标准镜头）, ±18°（高分辨率镜头（*）） |
| 真空系统 |
| 3个离子泵，1个TMP |
| 极限真空 | 10-8 Pa（电子枪）, 10-5 Pa（样品室） |
| 图像显示 | 个人电脑／操作系统 | PC/AT兼容, Windows? XP |
| 监视器 | 19-inch液晶显示器面板 |
| 图像帧尺寸 | 640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素 |
| 扫描速度 | 快扫，慢扫（0.5至320秒／帧） |
| 自动数据显示 | 记录序号，加速电压，下标尺，日期，时间 |