原子分辨率300 kV透射电子显微镜
在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体，先进材料的研发领域，原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的，不可或缺的工具。
为了满足这种高端需求，日立高新技术公司研发出了 H-9500透射电子显微镜，此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能，而且配置了很多满足客户多种需求的独特功能，并采用了最新的数字技术，便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息。
用户友好型的操作系统
高稳定性，高分辨率透射电子显微镜
性能优异，可靠性高
得到市场验证的10级加速器电子枪设计
阻抗式高压电缆设计
高档可选附件
高档可选附件
备注：FPD(平板显示器)上的图像为模拟图像。
规格
| 项目 | 说明 |
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| 分辨率 | 0.10nm(晶格分辨率)
0.18nm(点分辨率) |
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| 加速电压 | 300kV、200kV*1、100kV*1 |
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| 放大倍率 | 连续放大模式 | 1,000～1,500,000× |
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| 选区模式 | 4,000～500,000× |
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| 低倍模式 | 200～500× |
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| 电子枪 | 灯丝 | LaB6(六硼化镧灯丝，直流加热) |
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| 灯丝交换 | 自动升降式电子枪 |
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| 高压电缆 | 阻抗电缆 |
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| 照射系统 | 透镜 | 四级透镜 |
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| 聚光镜光阑 | 4孔可变 |
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| 探针尺寸 | 微米束模式：0.05 - 0.2 μm(4级)
纳米束模式：1 - 10 nm(4级) |
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| 电子束倾斜 | ±3° |
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| 成像系统 | 透镜 | 五级透镜 |
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| 聚焦 | 图像摇摆调整
利用像散监视器进行正焦补偿
聚焦优化 |
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| 物镜光阑 | 4孔可变光阑 |
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| 选区光阑 | 4孔可变光阑 |
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| 电子衍射 |
| 选区电子衍射
纳米探针电子衍射
会聚束电子衍射 |
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| 相机长度 | 250 - 3,000 mm |
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| 样品室 | 样品台 | 5轴优中心海帕测角台 |
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| 样品尺寸 | 3mmΦ |
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| 样品位置追踪 | X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm
通过CPU控制马达驱动 |
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| 样品位置显示 | 自动驱动，自动跟踪 |
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| 样品倾斜 | α = ±15°, β = ±15°
(日立双倾样品台*2) |
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| 防污染 | 冷阱 |
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| 烘烤功能 | 中温烘烤功能 |
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| 观察室 | 荧光屏 | 主屏：110 mmΦ
聚焦屏：30 mmΦ |
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| 目镜 | 7.5× |
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| 照相室 | 区域选择 | 整张照相/半张曝光 |
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| 胶片 | 25张(2套胶片盒) |
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| 图形用户界面 |
| 操作系统：Windows XP? |
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| 显示器 | 19英寸显示器 |
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| 功能 | 数据库，测量，图像处理 |
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| 数码CCD 相机*3 | 相机耦合 | 透镜耦合 |
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| 有效像素 | 1,024 × 1,024 像素 |
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| A/D 分辨率 | 12位 |
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| 真空系统 | 电子枪 | 离子泵：60 L/s |
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| 镜筒 | 涡轮分子泵：260 L/s |
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| 观察室/照相室 | 扩散泵：280 L/s
前级泵：135 L/min × 3台 |
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以上规格是在加速电压为300 kV时的承诺