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奥林巴斯激光共聚焦显微镜
产品型号:奥林巴斯OLS5000
产品产地:日本
发布日期:2020-02-18
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咨询电话:027-87383403
关 键 词:激光共聚焦显微镜OLS5000
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详细介绍

主机

型号 OLS5000-SAF OLS5000-SMF OLS5000-LAF OLS5000-EAF OLS5000-EMF
总倍率 54x - 17,280x
视场直径 16um - 5,120um
帧率(激光观察 )[fps] 3.25 / 55.6
帧率 (彩色观察) [FPS] 30
测量原理 光学系统 反射式共焦激光扫描激光显微镜
反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜
彩色
彩色-DIC
光接收元件 激光:光电倍增管(2ch)彩色:CMOS彩色相机
高度测量 显示分辨率 0.5纳米
光栅尺 0.78纳米
动态范围 16位
可重复性σ *1 *2 *5 n-1 5X:0.45μm, 10X:0.1μm, 20X : 0.03μm, 50X : 0.012μm, 100X : 0.012μm  
正确性 *1 *3 *5 0.15+L/100微米(L:测量值[毫米])
拼接图像正确性 *1 *3 *5 10X:5.0 + L/100μm, 20X以上 : 1.0 + L/100μm (L: 测量长度[μm])
测量噪声(Sq噪声) *1 *4 *5 1纳米
宽度测量 显示分辨率 1纳米
可重复性 3σn-1 *1 *2 *5 5X:0.4μm, 10X:0.2μm, 20X:0.05μm, 50X : 0.04μm, 100X : 0.02μm
精度 *1 *3 *5 测量值+/- 1.5%
拼接图像精度 *1 *3 *5 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [mm])
单次测量时测量点的最大数量 4096 x 4096像素
测量点的最大数量 3600万像素
XY载物台配置 长度测量模块 ? 不适用 不适用 ? 不适用
工作范围 100×100毫米电动 100×100毫米手动 300 X300毫米电动 100×100毫米电动 100×100毫米手动
最大样品高度 100毫米 40毫米 37毫米 210 毫米 150毫米
激光光源 波长 405纳米
最大输出 0.95毫瓦
激光分类 2类(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014)
彩色光源 白光LED
电气功率 240瓦 240瓦 278瓦 240瓦 240瓦
质量 显微镜主体 约31公斤 约32公斤 约50公斤 约43公斤 约44公斤
控制箱 约12公斤

* 1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证(温度:20?C±1?C, 湿度:50%±1%)。
* 2 在使用MPLAPON LEXT 系列物镜测量时超过20次。
* 3 在使用LEXT专用物镜测量时。
* 4 在使用MPLAPON100XLEXT 物镜测量时的典型值。
* 5 基于奥林巴斯认证体系保证。

物镜技术规格

系列 型号 数值孔径(NA) 工作距离(WD)(毫米)
UIS2物镜 MPLFLN2.5x 0.08 10.7
MPLFLN5x 0.15 20
LEXT专用物镜(10X) MPLFLN10xLEXT 0.3 10.4
MPLAPON20xLEXT 0.6 1
LEXT专用物镜(高性能型) MPLAPON50xLEXT 0.95 0.35
MPLAPON100xLEXT 0.95 0.35
LMPLFLN20xLEXT 0.45 6.5
LEXT专用物镜(长工作距离型) LMPLFLN50xLEXT 0.6 5
LMPLFLN100xLEXT 0.8 3.4
SLMPLN20x 0.25 25
超长工作距离物镜 SLMPLN50x 0.35 18
SLMPLN100x 0.6 7.6
LCPLFLN20xLCD 0.45 8.3-7.4
适用于LCD透镜的长工作距离 LCPLFLN50xLCD 0.7 3.0-2.2
LCPLFLN100xLCD 0.85 1.2-0.9

应用软件

标准软件 OLS50-BSW 数据采集app
分析app (简单分析)
电动载物台套装应用*1 OLS50-S-MSP
扩展分析应用*2 OLS50-S-AA
薄膜厚度测量 OLS50-S-FT
自动边缘测量应用 OLS50-S-ED
颗粒物分析应用 OLS50-S-PA
多文件分析应用 OLS50-S-MA
球体/圆柱体表面角度分析应用 OLS50-S-SA

* 1包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。
* 2包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。