小型等离子清洗机
双路气体输入，石英舱体：Φ150mm×270mm
容量：5升
供电电源： AC220V
工作电流： 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
射频电源功率： 0-300W
射频频率： 13.56MHz（偏移量小于0.2KHz）
频率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50欧姆，自动匹配
真空度： 10Pa—1000Pa
气体流量： 10—100ml/min(可调)
过程控制： MCU自动与手动方式
清洗时间： 1-100分钟可调
功率大小 10%-100%可调
外形尺寸：560x540x480
重量：45Kg
真空泵： 2XZ-4（选配）
真空室温度： 小于65°C
冷却方式： 强制风冷