1、Nd：YAG激光器部分，1064nm，单脉冲≤200mJ，稳定性1%，脉宽7ns，发散角1mrad，重频1-10HZ。
2、位移平台X-Y轴行程50mm，重复定位精度≯0.005mm，分辨率0.02mm，最大速度100mm/s，台面载重≮20kg；
3、电动旋转台的旋转角度范围为360°，台面尺寸95mm，最大允许转速200rpm；
4、Z轴运动平台行程25mm，带抱闸锁死功能，重复定位精度≯0.005mm，最大速度50mm/s，竖直方向载重≮5kg；
5、四轴高性能轨迹运动控制器：支持4轴运动控制，输出脉冲最高频率4M，编码器轴数4轴，16路通用数字量输入，14路数字量输出，能够实现直线、曲线及插补运动。
6、人机交互界面标配21英寸显示屏，包含DVI和VGA接口；
7、工控机I5处理器，4G内存，1T硬盘；
8、标配1064nm高功率紫外熔融石英聚焦物镜，放大倍率10X,数值孔径0.25，有效焦距20mm,透射光谱带宽380nm-1000nm,损伤阈值20.0J/cm2；
9、同轴光谱采集系统有效焦距50mm，单点采集分辨率为100um；
10、标配2根芯径200um石英光纤，长度2M，铠装；
11、旁轴光谱采集系统有效焦距为100mm，采集角度为0-90度范围；
12、同轴视觉监测系统放大率为5X，内置LED照明光源，标配1/2英寸130万像素CMOS型黑白相机，频率50帧/秒；
13、激光测距系统测距范围为30mm±5mm，重复定位精度5um。

14、光谱仪部分：光谱范围：200-1100nm，波长分辨率：＜0.01nm，探测器类型：线阵CCD，积分球时间：最短1ms。

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