| 技术规格 |
| 抽速 |
ISO 100 K/CFF 6”/ISO 160 K/CFF 8” |
N2
He
H2
Ar |
250 L/s
255 L/s
220 L/s
250 L/s |
| 最大气体流速 |
| N2 |
250 SCCM |
| 压缩比 |
N2
He
H2
Ar |
> 1 × 1011
> 1 × 108
1.5 × 106
> 1 × 1011 |
| N2 最大前级耐压 |
12 mbar |
| 极限真空（使用推荐的前级泵） |
< 1 × 10 -10 mbar
(< 1 × 10 -10 Torr) |
| 抽气口法兰 |
ISO 100 K、CFF 6”、ISO 160 K、CFF 8” |
| 前级管道法兰 |
KF16 NW（KF25 — 可选） |
| 转速 |
60000 rpm（1010 Hz 驱动频率） |
| 启动时间 |
< 3 分钟（采用软启动时更长） |
| 推荐的前级泵 |
干泵：IDP-3（无气流）、IDP-7、IDP-10，
机械泵：DS102、DS302 |
| 操作位置 |
任意位置 |
| 操作环境温度 |
+5 °C 至 +35 °C |
| 烘烤温度 |
抽气口法兰最高温度 80 °C |
| 润滑油 |
永久性润滑 |
| 冷却要求 |
| 风冷 |
自然对流（仅适用于无气体负荷）
加压空气冷却（环境温度 5 - 35 °C） |
| 水冷 |
最小流速：50 L/h (0.22 GPM)
温度：+15 °C 至 +30 °C
最大压力：5 bar (75 psi) |
噪声声压级
（全速运行时距离 1 m 处） |
41 dB(A) |
| 储存温度 |
-40 °C 至 +70 °C |
重量 kg (lbs)
TwisTorr 305 FS |
ISO 100 K 5.84 kg (12.8)
CFF 6” 8.16 kg (17.9)
ISO 160 K 6.28 kg (13.8)
CFF 8” 10.43 kg (22.9) |
| 符合的法规： |
EN 61010-1
EN 61326-1
EN 1012-2
EN 12100
EN 50581
机械指令 2006/42/EC
电磁兼容性指令
2014/30/EU 指令 2011/65/EU |