复合 VacIon Plus 离子泵

VacIon Plus 复合泵集成了钛升华泵技术，能够实现超高真空。钛升华泵 (TSP) 能够以极高的抽速抽取活性气体，而离子泵适用于氩气和甲烷等非活性气体。可以将 TSP 添加到离子泵的内部，或者将其作为一个独立的抽气单元。

复合泵配置适用于 VacIon Plus 150、300 或 500，并包含圆柱形低温板、在外侧或底部额外安装的 8 英寸 ConFlat 法兰接口以及一个安装至该接口的 TSP 升华源，以额外提供高抽气速度。

安捷伦提供两种肽升华泵：钛丝源和钛球源。灯丝型 TSP 源在两次升华之间可以关闭，因此可以避免气体在高温下逸出。球型 TSP 源含有更多的钛，在需要钛较多（例如较高的操作压力）的条件下，可以使用更长的时间。