高温超纳米压痕测试仪 (UNHT³ HTV)
高温纳米压痕测试仪是测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统，温度在 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。专利 UNHT 技术与独特的加热功能结合，可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。
新一代的高温纳米压痕测试仪
- 环境条件下最低热漂移 (< 0.5 nm/min) 和整个温度范围内最低热漂移 (< 3 nm/min)。
- 最高载荷框架刚度 (>>106 N/m) 和最低框架柔度 (<<0.1 nm/mN)：两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合，可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。
- 高真空系统具有 5 轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统，允许在测量期间关闭初级泵，使振动降至最低。
- 独特的加热控制系统（3 项专利待批），采用3 个红外 (IR) 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热，以及 4 个热电偶用于将样品表面温度控制到 变化在0.1°C 内。
- 符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 国际标准
| 载荷 |
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| 最大载荷 | 100 mN |
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| 载荷分辨率 | 6 nN |
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| 本底噪音 | 0.5 [rms] [μN]* |
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| 位移 |
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| 最大位移 | 100 μm |
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| 位移分辨率 | 0.003 nm |
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| 本底噪音 | 0.15 [rms] [nm]* |
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| 极限真空度 | 10⁷ mBar |
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| 最高温度 | 800 °C |
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