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小型离子溅射仪
产品型号: SBC-12
产品产地:中国
发布日期:2020-02-24
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关 键 词:小型离子溅射仪
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详细介绍

本仪器主要适用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。
技术指标:
 玻璃处理室:∮100毫米,高度130毫米
 试样台尺寸:∮40毫米可同时放6个样品杯
 金靶尺寸:∮58毫米
 真空系统:直联旋片真空泵2升/秒
 真空检测:皮氏计
 真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空
 工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节
 可以溅射铁、钴、铒